深圳市奇信達(dá)科技有限公司
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產(chǎn)品編號(hào)：
產(chǎn)品全稱：等倍Projection曝光設(shè)備
適合試作量產(chǎn)、高精度圖像成形、提供高精度對(duì)位。
對(duì)應(yīng)2、6、8inch或角基板。自動(dòng)對(duì)位、平行度調(diào)整和Gap控制也是自動(dòng)、只是Work的搬入、搬出是由人工手動(dòng)來(lái)進(jìn)行。
可對(duì)應(yīng)單面或兩面對(duì)位。
對(duì)位精度＝±1μｍ以下。
防振功能是標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格；兩面對(duì)位時(shí)可選擇兩側(cè)光學(xué)系或IR光學(xué)系。
曝光方式是真空密著曝光、硬接觸曝光、近接觸式曝光。
